VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
GaAs wafer (as rec'd, 90 deg TOA)
1

NORM
REGULAR
4
0
0
0
0
0
4

GaAs wafer (as rec'd, 90 deg TOA)
2003
5
7
23
7
3
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
54.92
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
295
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
6
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
5761
0.13786
0.140407
181
0.140407
76
0.140397
258
0.140387
301
0.140377
300
0.140367
376
0.140356
343
0.140346
289
0.140336
247
0.140326
153
0.140316
205
0.140306
144
0.140295
225
0.140285
140
0.140275
385
0.140265
0
0.140255
237
0.140245
455
0.140235
453
0.140224
331
0.140214
165
0.140204
312
0.140194
329
0.140184
231
0.140174
396
0.140164
233
0.140154
243
0.140143
48
0.140133
239
0.140123
270
0.140113
169
0.140103
56
0.140093
412
0.140083
72
0.140073
338
0.140062
51
0.140052
314
0.140042
172
0.140032
266
0.140022
314
0.140012
229
0.140002
148
0.139992
65
0.139981
284
0.139971
320
0.139961
304
0.139951
264
0.139941
316
0.139931
201
0.139921
75
0.139911
351
0.139901
210
0.139891
45
0.13988
356
0.13987
112
0.13986
194
0.13985
134
0.13984
49
0.13983
188
0.13982
75
0.13981
298
0.1398
30
0.13979
215
0.13978
256
0.13977
298
0.139759
231
0.139749
400
0.139739
560
0.139729
361
0.139719
522
0.139709
592
0.139699
498
0.139689
617
0.139679
512
0.139669
526
0.139659
380
0.139649
594
0.139639
549
0.139629
645
0.139619
598
0.139608
571
0.139598
651
0.139588
411
0.139578
335
0.139568
244
0.139558
512
0.139548
288
0.139538
412
0.139528
393
0.139518
373
0.139508
410
0.139498
461
0.139488
376
0.139478
412
0.139468
674
0.139458
419
0.139448
663
0.139438
675
0.139428
630
0.139418
831
0.139408
889
0.139398
795
0.139388
892
0.139378
1185
0.139368
1128
0.139358
1165
0.139348
1240
0.139337
1404
0.139327
1300
0.139317
1460
0.139307
1623
0.139297
1606
0.139287
1760
0.139277
2167
0.139267
2416
0.139257
2469
0.139247
2858
0.139237
3013
0.139227
3158
0.139217
3640
0.139207
3967
0.139197
4484
0.139187
4815
0.139177
5189
0.139167
5221
0.139157
5761
0.139147
5691
0.139137
5419
0.139127
5427
0.139117
5338
0.139107
4931
0.139097
4494
0.139087
3835
0.139077
3827
0.139067
3001
0.139058
2718
0.139048
2141
0.139038
2058
0.139028
1694
0.139018
1358
0.139008
1001
0.138998
876
0.138988
893
0.138978
613
0.138968
677
0.138958
506
0.138948
475
0.138938
733
0.138928
522
0.138918
218
0.138908
346
0.138898
334
0.138888
435
0.138878
346
0.138868
304
0.138858
463
0.138848
308
0.138838
287
0.138828
257
0.138818
362
0.138808
236
0.138798
154
0.138789
442
0.138779
353
0.138769
292
0.138759
590
0.138749
541
0.138739
333
0.138729
708
0.138719
538
0.138709
482
0.138699
658
0.138689
304
0.138679
307
0.138669
489
0.138659
508
0.138649
540
0.13864
545
0.13863
733
0.13862
776
0.13861
641
0.1386
922
0.13859
656
0.13858
651
0.13857
860
0.13856
785
0.13855
691
0.13854
847
0.13853
960
0.138521
704
0.138511
864
0.138501
689
0.138491
843
0.138481
1106
0.138471
917
0.138461
1162
0.138451
901
0.138441
1015
0.138431
1138
0.138422
1117
0.138412
1011
0.138402
1437
0.138392
1139
0.138382
1131
0.138372
1234
0.138362
1218
0.138352
1194
0.138342
1345
0.138333
1213
0.138323
1355
0.138313
1194
0.138303
1498
0.138293
1175
0.138283
1450
0.138273
1433
0.138263
1490
0.138254
1177
0.138244
1398
0.138234
1153
0.138224
1355
0.138214
1315
0.138204
1560
0.138194
1390
0.138185
1497
0.138175
1304
0.138165
973
0.138155
968
0.138145
1115
0.138135
1135
0.138125
1012
0.138116
1024
0.138106
939
0.138096
1134
0.138086
905
0.138076
926
0.138066
1068
0.138056
912
0.138047
842
0.138037
770
0.138027
782
0.138017
593
0.138007
704
0.137997
624
0.137988
481
0.137978
470
0.137968
609
0.137958
384
0.137948
228
0.137938
520
0.137929
384
0.137919
245
0.137909
192
0.137899
121
0.137889
336
0.137879
213
0.13787
123
0.13786

GaAs wafer (as rec'd, 90 deg TOA)
2003
5
7
23
7
4
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
54.92
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
542
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
32331
0.177154
0.181284
665
0.181284
556
0.181268
841
0.181251
705
0.181235
794
0.181218
591
0.181202
297
0.181185
381
0.181168
1135
0.181152
1052
0.181135
1209
0.181119
1252
0.181102
1009
0.181086
879
0.181069
722
0.181053
1144
0.181036
993
0.18102
921
0.181003
1484
0.180987
983
0.18097
956
0.180954
911
0.180937
917
0.180921
953
0.180904
904
0.180888
766
0.180871
1309
0.180855
1291
0.180838
1365
0.180822
956
0.180805
950
0.180789
935
0.180772
824
0.180756
685
0.180739
986
0.180723
1245
0.180707
831
0.18069
927
0.180674
1121
0.180657
1170
0.180641
1156
0.180624
924
0.180608
950
0.180591
888
0.180575
948
0.180559
1054
0.180542
1263
0.180526
1150
0.180509
1285
0.180493
1075
0.180476
973
0.18046
1247
0.180444
1007
0.180427
789
0.180411
1189
0.180394
950
0.180378
998
0.180362
1140
0.180345
1132
0.180329
1146
0.180312
1162
0.180296
943
0.18028
1359
0.180263
1233
0.180247
1241
0.180231
1106
0.180214
1396
0.180198
1060
0.180181
1057
0.180165
856
0.180149
1286
0.180132
1031
0.180116
1031
0.1801
1281
0.180083
1044
0.180067
1353
0.180051
1608
0.180034
1649
0.180018
1440
0.180002
1069
0.179985
1437
0.179969
1066
0.179953
1324
0.179936
1353
0.17992
1346
0.179904
1124
0.179887
1596
0.179871
1647
0.179855
1377
0.179838
1639
0.179822
1949
0.179806
1501
0.179789
1379
0.179773
2177
0.179757
2133
0.179741
2055
0.179724
1939
0.179708
2749
0.179692
2472
0.179675
2615
0.179659
2784
0.179643
3551
0.179627
3294
0.17961
3743
0.179594
3883
0.179578
4275
0.179562
5019
0.179545
5441
0.179529
5799
0.179513
6207
0.179497
6760
0.17948
7454
0.179464
8277
0.179448
9263
0.179432
10395
0.179415
11506
0.179399
12827
0.179383
14299
0.179367
15471
0.17935
17344
0.179334
18802
0.179318
19598
0.179302
21626
0.179286
23224
0.179269
24217
0.179253
26096
0.179237
26749
0.179221
28473
0.179205
28968
0.179188
30297
0.179172
30635
0.179156
30710
0.17914
31675
0.179124
32331
0.179107
32216
0.179091
31295
0.179075
31296
0.179059
30797
0.179043
29890
0.179027
28764
0.17901
27723
0.178994
26580
0.178978
25344
0.178962
23535
0.178946
21744
0.17893
20608
0.178913
19273
0.178897
17309
0.178881
15654
0.178865
13635
0.178849
12593
0.178833
10744
0.178817
9357
0.178801
8059
0.178784
6591
0.178768
6066
0.178752
4720
0.178736
4108
0.17872
3367
0.178704
2040
0.178688
2961
0.178672
2254
0.178655
1830
0.178639
1597
0.178623
1124
0.178607
1373
0.178591
1076
0.178575
973
0.178559
970
0.178543
1170
0.178527
1228
0.178511
1091
0.178495
531
0.178479
826
0.178462
773
0.178446
821
0.17843
325
0.178414
559
0.178398
850
0.178382
318
0.178366
471
0.17835
313
0.178334
560
0.178318
921
0.178302
398
0.178286
365
0.17827
451
0.178254
436
0.178238
202
0.178222
203
0.178206
201
0.17819
341
0.178174
576
0.178158
0
0.178142
439
0.178126
488
0.17811
113
0.178094
231
0.178078
406
0.178062
585
0.178046
700
0.17803
354
0.178014
393
0.177998
122
0.177982
352
0.177966
620
0.17795
883
0.177934
416
0.177918
608
0.177902
139
0.177886
846
0.17787
513
0.177854
778
0.177838
461
0.177822
529
0.177806
929
0.17779
291
0.177774
1012
0.177758
497
0.177742
669
0.177726
1129
0.17771
839
0.177694
648
0.177678
931
0.177662
812
0.177647
548
0.177631
442
0.177615
815
0.177599
971
0.177583
962
0.177567
1168
0.177551
854
0.177535
1038
0.177519
973
0.177503
1256
0.177487
734
0.177471
1339
0.177456
1160
0.17744
966
0.177424
1022
0.177408
1159
0.177392
1034
0.177376
1325
0.17736
1022
0.177344
1434
0.177328
628
0.177313
1781
0.177297
1286
0.177281
1348
0.177265
1448
0.177249
1332
0.177233
1164
0.177217
1470
0.177202
1590
0.177186
1921
0.17717
2100
0.177154

GaAs wafer (as rec'd, 90 deg TOA)
2003
5
7
23
7
5
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
54.92
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
54
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
15838
0.11292
0.114656
1177
0.114656
1165
0.114649
1080
0.114642
1098
0.114635
1030
0.114628
1134
0.114621
1120
0.114614
1037
0.114607
1057
0.1146
1105
0.114594
1086
0.114587
1085
0.11458
961
0.114573
1051
0.114566
954
0.114559
876
0.114552
915
0.114545
915
0.114538
1008
0.114532
961
0.114525
1027
0.114518
959
0.114511
914
0.114504
856
0.114497
853
0.11449
1011
0.114483
864
0.114476
879
0.11447
899
0.114463
839
0.114456
858
0.114449
739
0.114442
902
0.114435
794
0.114428
824
0.114421
798
0.114414
739
0.114408
770
0.114401
812
0.114394
822
0.114387
766
0.11438
712
0.114373
726
0.114366
738
0.114359
685
0.114353
683
0.114346
585
0.114339
672
0.114332
729
0.114325
636
0.114318
751
0.114311
673
0.114305
650
0.114298
634
0.114291
586
0.114284
599
0.114277
599
0.11427
556
0.114263
481
0.114257
591
0.11425
546
0.114243
550
0.114236
586
0.114229
567
0.114222
456
0.114215
495
0.114209
529
0.114202
491
0.114195
530
0.114188
484
0.114181
499
0.114174
543
0.114167
558
0.114161
501
0.114154
488
0.114147
477
0.11414
553
0.114133
514
0.114126
505
0.11412
459
0.114113
392
0.114106
529
0.114099
521
0.114092
506
0.114085
592
0.114078
698
0.114072
655
0.114065
714
0.114058
597
0.114051
785
0.114044
749
0.114037
921
0.114031
992
0.114024
1198
0.114017
1183
0.11401
1410
0.114003
1526
0.113996
1585
0.11399
1585
0.113983
1598
0.113976
1783
0.113969
1761
0.113962
1884
0.113955
1918
0.113949
2008
0.113942
1960
0.113935
1975
0.113928
2044
0.113921
1917
0.113915
2050
0.113908
2266
0.113901
2123
0.113894
2084
0.113887
2315
0.11388
2406
0.113874
2432
0.113867
2467
0.11386
2645
0.113853
2653
0.113846
2746
0.11384
2840
0.113833
2818
0.113826
2877
0.113819
2914
0.113812
2775
0.113806
2834
0.113799
2727
0.113792
2551
0.113785
2422
0.113778
2241
0.113772
2169
0.113765
1893
0.113758
1744
0.113751
1624
0.113744
1487
0.113738
1289
0.113731
1144
0.113724
1055
0.113717
1020
0.11371
1058
0.113704
1074
0.113697
981
0.11369
1088
0.113683
1299
0.113676
1280
0.11367
1431
0.113663
1765
0.113656
2081
0.113649
2381
0.113642
2976
0.113636
3925
0.113629
4568
0.113622
5898
0.113615
7339
0.113608
8791
0.113602
10304
0.113595
11788
0.113588
12841
0.113581
13226
0.113575
13529
0.113568
13998
0.113561
14011
0.113554
14224
0.113547
14860
0.113541
15684
0.113534
15838
0.113527
15838
0.11352
15375
0.113514
13715
0.113507
11950
0.1135
9848
0.113493
7485
0.113486
5524
0.11348
4031
0.113473
2911
0.113466
2115
0.113459
1423
0.113453
1083
0.113446
928
0.113439
671
0.113432
554
0.113426
397
0.113419
327
0.113412
291
0.113405
331
0.113398
119
0.113392
238
0.113385
154
0.113378
156
0.113371
84
0.113365
79
0.113358
87
0.113351
47
0.113344
91
0.113338
58
0.113331
148
0.113324
151
0.113317
102
0.113311
60
0.113304
167
0.113297
200
0.11329
137
0.113284
82
0.113277
79
0.11327
195
0.113263
96
0.113257
210
0.11325
173
0.113243
300
0.113236
188
0.11323
176
0.113223
264
0.113216
132
0.113209
283
0.113203
311
0.113196
264
0.113189
267
0.113183
261
0.113176
366
0.113169
414
0.113162
393
0.113156
415
0.113149
417
0.113142
381
0.113135
326
0.113129
403
0.113122
486
0.113115
455
0.113108
552
0.113102
421
0.113095
489
0.113088
471
0.113082
461
0.113075
501
0.113068
424
0.113061
411
0.113055
446
0.113048
451
0.113041
499
0.113035
432
0.113028
365
0.113021
380
0.113014
334
0.113008
363
0.113001
409
0.112994
366
0.112987
283
0.112981
211
0.112974
306
0.112967
139
0.112961
111
0.112954
0
0.112947
77
0.112941
86
0.112934
135
0.112927
23
0.11292

GaAs wafer (as rec'd, 90 deg TOA)
2003
5
7
23
7
5
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
54.92
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
32
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
15375
0.111069
0.11275
1216
0.11275
1128
0.112743
1131
0.112736
1078
0.11273
1134
0.112723
1011
0.112716
1122
0.11271
1072
0.112703
1097
0.112696
1137
0.112689
1060
0.112683
1115
0.112676
1031
0.112669
1051
0.112663
1072
0.112656
1023
0.112649
975
0.112643
962
0.112636
979
0.112629
1008
0.112623
1000
0.112616
975
0.112609
1022
0.112603
1040
0.112596
1046
0.112589
1008
0.112583
961
0.112576
980
0.112569
947
0.112563
1009
0.112556
1000
0.112549
955
0.112543
978
0.112536
886
0.112529
985
0.112523
890
0.112516
981
0.112509
970
0.112503
894
0.112496
898
0.112489
849
0.112483
923
0.112476
909
0.112469
854
0.112463
830
0.112456
891
0.112449
817
0.112443
807
0.112436
908
0.112429
881
0.112423
827
0.112416
822
0.11241
812
0.112403
856
0.112396
876
0.11239
867
0.112383
940
0.112376
850
0.11237
883
0.112363
809
0.112356
872
0.11235
885
0.112343
858
0.112336
901
0.11233
914
0.112323
949
0.112317
946
0.11231
900
0.112303
972
0.112297
970
0.11229
984
0.112283
962
0.112277
944
0.11227
964
0.112263
946
0.112257
974
0.11225
1017
0.112244
939
0.112237
988
0.11223
958
0.112224
1016
0.112217
1025
0.11221
1034
0.112204
987
0.112197
1087
0.112191
1082
0.112184
1120
0.112177
1026
0.112171
1073
0.112164
1057
0.112157
1076
0.112151
1129
0.112144
1081
0.112138
1117
0.112131
1154
0.112124
1060
0.112118
1126
0.112111
1066
0.112104
1221
0.112098
1107
0.112091
1173
0.112085
1163
0.112078
1226
0.112071
1149
0.112065
1173
0.112058
1166
0.112052
1120
0.112045
1156
0.112038
1172
0.112032
1180
0.112025
1252
0.112019
1112
0.112012
1164
0.112005
1213
0.111999
1093
0.111992
1135
0.111986
1143
0.111979
1053
0.111972
1018
0.111966
1036
0.111959
1081
0.111953
1134
0.111946
1116
0.111939
1075
0.111933
1210
0.111926
1218
0.11192
1295
0.111913
1328
0.111906
1592
0.1119
1640
0.111893
1872
0.111887
2052
0.11188
2348
0.111873
2743
0.111867
3095
0.11186
3455
0.111854
3967
0.111847
4450
0.11184
4793
0.111834
5426
0.111827
5634
0.111821
6301
0.111814
6595
0.111808
6944
0.111801
6982
0.111794
7075
0.111788
7264
0.111781
7384
0.111775
7218
0.111768
7093
0.111762
7312
0.111755
7158
0.111748
7212
0.111742
7590
0.111735
8142
0.111729
8676
0.111722
9859
0.111716
11003
0.111709
12205
0.111702
13321
0.111696
14163
0.111689
14549
0.111683
15202
0.111676
15375
0.11167
14548
0.111663
13756
0.111656
12316
0.11165
10468
0.111643
8514
0.111637
6534
0.11163
4873
0.111624
3380
0.111617
2520
0.11161
1810
0.111604
1401
0.111597
1069
0.111591
911
0.111584
724
0.111578
630
0.111571
578
0.111565
445
0.111558
447
0.111551
407
0.111545
396
0.111538
318
0.111532
264
0.111525
283
0.111519
212
0.111512
248
0.111506
208
0.111499
179
0.111493
167
0.111486
158
0.111479
148
0.111473
132
0.111466
117
0.11146
117
0.111453
139
0.111447
51
0.11144
110
0.111434
55
0.111427
67
0.111421
12
0.111414
31
0.111408
36
0.111401
89
0.111394
26
0.111388
46
0.111381
11
0.111375
0
0.111368
36
0.111362
41
0.111355
17
0.111349
75
0.111342
45
0.111336
21
0.111329
6
0.111323
43
0.111316
52
0.11131
70
0.111303
56
0.111296
69
0.11129
41
0.111283
71
0.111277
62
0.11127
105
0.111264
96
0.111257
133
0.111251
124
0.111244
162
0.111238
119
0.111231
200
0.111225
177
0.111218
205
0.111212
201
0.111205
225
0.111199
164
0.111192
261
0.111186
299
0.111179
294
0.111173
271
0.111166
306
0.11116
275
0.111153
295
0.111147
335
0.11114
286
0.111134
352
0.111127
340
0.111121
319
0.111114
320
0.111108
373
0.111101
348
0.111095
386
0.111088
332
0.111082
312
0.111075
334
0.111069
end of experiment
